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十級的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè),采用FFU滿布,利用超高效空氣過濾器,地板用高架地板制作。
三十萬級無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除。
十萬級無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除。
萬級無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除。
千級無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、有害菌群等污染物排除,
百級無塵車間主要是根據(jù)車間的埃塵粒子來決定的,大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的塵粒數(shù)為0。